1.5±μm
600*600≥mm
振鏡聯動掃描系統使振鏡加工范圍無限擴展成為可能。LrLaser-6060通過機床軸運動與振鏡掃描運動，形成聯動運動軌跡，擴展了激光掃描系統的工作區，提供清晰的激光加工優勢。相比于傳統的振鏡與平臺獨立控制系統，振鏡聯動系統能夠大幅度提升激光加工效率及精度，實測最高效率提升40%，整體精度能夠控制在5um以內。
? 全閉環掃描振鏡及伺服系統聯動控制
? 無限視野范圍軌跡無縫結合
? 數字化掃描控制系統+PSO位置同步輸出，零延遲
? 應用于大面積復雜軌跡的連續激光微加工
? 自主開發的激光控制系統
| 驅動器方式 | 振鏡+伺服軸運動控制 | 信號傳輸 | EtherCAT，支持振鏡XY2-100 |
| 有效范圍 | 600mm×600mm或以上 | 定位精度 | ±1.5um |
| 功率控制 | PSO等間距激光功率控制 | 波長范圍 | 343 nm到10.6μm |
| 激光器類型 | 適用于短脈沖PS和FS等超快激光器 |
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